湖北卓砺精辰技術有限公司 | ハイエンド精密センサーの研究開発と製造
半導体精密検査に専念
0.1μmの限界を突破し
センシング基準を再構築
光学および電気化学のコア技術を独自開発。 ウェーハ工場の特殊ガスシステムなどの過酷な環境向けに構築され、 高圧ガスパーティクルカウンターとフルスタックソリューションを提供します。
0+
年の業界経験
0+
件のコア特許
< 0ppb
の検出感度
対象業界
トップクラスのセンサー技術で 世界の高度な製造業を支援します。
半導体工場
高度なパッケージングプロセスを確保するため、ウェーハ工場向けに超高純度ガスの汚染を監視します。
高純度ガス
ガスサプライヤーに、NISTトレーサブルな認証基準を提供します。
材料とライフサイエンス
最先端の材料研究とライフサイエンス分野に、高精度な微粒子と微量不純物の分析を提供します。
コアセンサーテクノロジー
独自のデュアルエンジンセンサーが ハイエンド精密機器の究極の技術的な堀を構築します。
光学センシングエンジン
画期的なミー散乱と受動レーザー共振器
電気化学エンジン
ナノスケールの微量不純物認識
ZHGC-101-01 インライン高圧ガスパーティクルカウンター
ウェーハファブ前工程ガス供給システム向けインライン高圧パーティクルカウンター。独自開発のパッシブレーザーキャビティにより、40〜150psigの作動圧力下で0.1μm @ 0.1cfmの検出感度を実現。CDA・N2・Ar・He等の超高純度不活性ガスに対応。NIST トレーサブル校正。
0.1μm
検出感度 / Sensitivity
0.1 scfm
流量 / Flow Rate
8チャンネル
チャンネル数 / Channels
8インチPCAPタッチスクリーン
ディスプレイ / Display
信頼と実績のパートナー
精密測定の基盤を構築するため トップクラスの計量機関や研究機関と提携しています。
湖北省計量テスト技術研究院
HBIMT
華中科技大学
HUST
清華大学
Tsinghua
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ZHGCシリーズや全方位ガス検知ソリューションにご関心がございますか？お気軽にお問い合わせください。
メール
sales@zolixtech.com
本社所在地
湖北省武漢市東湖新技術開発区光谷三路777号 創星匯自貿金融大厦14階1425室