フラッグシップ製品とアプリケーション

ZHGC-101-01 インライン高圧ガスパーティクルカウンター

ウェーハファブ前工程ガス供給システム向けインライン高圧パーティクルカウンター。独自開発のパッシブレーザーキャビティにより、40〜150psigの作動圧力下で0.1μm @ 0.1cfmの検出感度を実現。CDA・N2・Ar・He等の超高純度不活性ガスに対応。NIST トレーサブル校正。