製品とアプリケーション
フラッグシップ製品とアプリケーション
ZHGC-101と、半導体ウェハー工場、高純度ガスメーカー向けの包括的なソリューションをご覧ください。
ZHGC-101-02 防爆型高圧パーティクルカウンター
半導体ファブの最先端プロセスにおける反応性および腐食性の特殊ガス（HCl、NH3、シランなど）のオンライン監視用に専用設計されています。ZHGC-101-02は、独自の防爆安全チャンバーと特許取得済みのパッシブレーザーキャビティを採用し、危険ガスを物理的に隔離し、従来のセンサーにおける腐食や漏れの致命的な欠陥を完全に排除します。過酷な環境下でも 0.1μm @ 0.1cfm の極限の検出感度を提供し、ナノスケールの粒子汚染によるウェハーの廃棄を即座に阻止する、ハイスペックな工場設備ガス監視の究極のソリューションです。
ZHGC-101-01 インライン高圧ガスパーティクルカウンター
ウェーハファブ前工程ガス供給システム向けインライン高圧パーティクルカウンター。独自開発のパッシブレーザーキャビティにより、40〜150psigの作動圧力下で0.1μm @ 0.1cfmの検出感度を実現。CDA・N2・Ar・He等の超高純度不活性ガスに対応。NIST トレーサブル校正。
Competitive Analysis
ベンチマークの優位性
主要なパフォーマンス指標において、国際的な先進基準を満たすか、それを上回っています。
指標
輸入ブランド
Zolixtech
01感度
0.1 μm
0.1 μm
02ゼロカウント
< 0.2/分
< 0.2/分
03コスト
100%
コアの強み
60%-70%04サポート
標準
コアの強み
24/7 カスタム05キャビティ設計
アクティブ
コアの強み
パッシブ (メンテナンスフリー)* 数据来源：国家法定计量检定机构 (SIMT) 测试报告及第三方公开市场数据
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湖北省武漢市東湖新技術開発区光谷三路777号 創星匯自貿金融大厦14階1425室