機器選定リファレンス (Overview)
半導体前工程製造において、プロセスガスの種類は施設監視機器の安全仕様を決定します。一般的な不活性ガスの場合、標準モデルで要件を満たします。しかし、可燃性または爆発性ガス、および特定の危険ガス（CO2など）の場合、ZHGC-101-02 パーティクルカウンターを選択する必要があります。Zolixtechは、ZHGC-101-01およびZHGC-101-02を含むソリューションを提供し、導入コストの最適化を支援します。
1. なぜ特定の環境で ZHGC-101-02 が必要なのか？
高純度水素（H2）などの可燃性/爆発性ガス、またはCO2などを検出する場合、機器のシール破損などは安全事故を引き起こす可能性があります。したがって、危険区域には ZHGC-101-02 のような包括的な安全設計が必要です。
2. 中核となる違いとアプリケーションシナリオ
- 適用可能なガス：
ZHGC-101-01は不活性ガス/非危険ガス用。ZHGC-101-02は可燃性/爆発性ガスおよびCO2用で、不活性ガスも測定可能。 - 物理的なアーキテクチャ設計：
ZHGC-101-01は標準筐体。ZHGC-101-02は高強度耐圧防爆筐体（Ex d）を使用。 - 展開エリア：
ZHGC-101-01はCQC RQC、標準のVMB/VMPバルブボックスに配置。ZHGC-101-02はCQC RQC、ガスルーム、水素/危険ガスPOUノードで使用。
3. Zolixtechのソリューション
- パフォーマンスに妥協なし：
どちらも 150psig (1.0 MPa) ネイティブ高圧直結光学キャビティ を採用。 - 安全設計：
ZHGC-101-02は危険ガス環境でも火花の漏れを絶対に遮断。 - コスト効率：
不活性ガスにZHGC-101-01、危険配管にZHGC-101-02を展開しTCOを削減。
4. まとめ
ZHGC-101-01とZHGC-101-02は異なるプロセスガス用の専用機です。Zolixtechは妥協のないパフォーマンスと安全上の死角のない最適な選択肢を提供します。