ZHGC-101-02 防爆型高圧パーティクルカウンター

Pain Point: 3nm/2nmプロセスにおいて、HClやシランなどの強腐食性または反応性の特殊ガスを使用する場合、従来のパーティクルカウンターは容易に腐食・ショートし、壊滅的な安全事故やライン停止を引き起こします。

Solution: 防爆安全チャンバーを備えたZHGC-102を導入。そのパッシブキャビティは腐食を完全に回避し、連続的で安全な0.1μm粒子のオンライン監視を提供し、継続的な生産を確保します。

Pain Point: 可燃性/爆発性ガス配管の新設またはメンテナンス後の認証における従来のオフラインサンプリングは、非常にリスクが高く、数週間かかるため、生産能力の立ち上げを著しく遅らせます。

Solution: NISTトレーサブルなコンプライアンス粒子データをオンラインで直接出力し、リスクの高い手動のオフラインサンプリングを排除し、危険なガス管路の認証サイクルを70%以上短縮します。

Pain Point: 一部の特殊化学品合成またはガス充填工場には、従来の検出機器の持ち込みを厳しく禁じる非常に厳しい防爆要件があります。

Solution: 特別に作られた強化防爆ボディは、発火源を根本から排除し、特殊ガス工場のZoneエリアの厳しい安全アクセス要件を完全に満たします。