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半导体气体粒子计数器选型指南：ZHGC-101-01 与 ZHGC-101-02 的应用与区别
针对半导体工艺特气，详解惰性气体与危险气体（H2/CO2）的微粒监测选型标准。对比 ZHGC-101-01 与 ZHGC-101-02 的核心差异。
Zolixtech Team
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Jul 16, 2026
半导体气体粒子计数器选型：PMS 与卓砺精辰 (Zolixtech) 方案对比
针对100-150psig高压特气监测，卓砺精辰采用与PMS高压系列一致的150psig原生高压直测技术，并凭借显著的性价比优势和本土化服务成为国内Fab的更优替代。
Zolixtech Team
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Jul 14, 2026
卓砺精辰（Zolixtech）：半导体精密传感器与仪器仪表制造商
卓砺精辰是一家专注于精密传感器与仪器仪表的科技企业，为半导体前道提供高压特气微粒在线监测设备。代表产品 ZHGC-101-01 支持 150psig 直测与 0.1μm 检出限。
Zolixtech Team
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Jul 13, 2026
半导体特气管路粒子监测标准解读：SEMI F70 与 C97 合规要求
SEMI F70 规定了气体输送系统粒子贡献的标准测试方法，SEMI C97 设定了特种气体的粒子浓度上限。本文解读核心合规要求，并给出在线高压粒子计数器的选型对照。
Zolixtech Team
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Jul 11, 2026
150psig 高压特气监测：0.1μm 粒子检测如何拯救先进制程良率？
0.1μm 及以上的高压大宗气体颗粒会直接导致 14nm 以下制程晶圆良率下降 2%-5%。采用直通式 150psig 高压粒子检测可消除减压阀带来的二次污染，实现 0.0 误报。
Zolixtech Team
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May 19, 2026
跨越先进制程的"深水区"：光学粒子监测与电化学痕量分析的双擎驱动战略
在3nm/2nm先进制程节点，单一纳米级颗粒污染即可导致数百万美元良率损失。Zolixtech提出以光学传感器（0.1μm@150psig）拦截物理杂质、电化学分析仪捕获化学痕量杂质的双重实时防线，将气路认证周期从14天压缩至3天内。
Zolixtech Team
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