湖北卓砺精辰技术有限公司 | 高端精密传感器研发制造
半导体精密检测
突破 0.1μm 极限
重塑传感新标准
自主研发光学与电化学核心底层技术 专为晶圆厂特气系统等严苛环境打造 提供替代进口的高压气体粒子计数器与全栈检测方案
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年半导体行业深耕
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项核心发明专利
< 0ppb
极限检测灵敏度
赋能千行百业
以顶级传感科技 驱动全球高端制造与精密控制
半导体前道工艺
为晶圆厂提供超高纯气体 (UHP) 污染监控，保障先进封装工艺。
高纯气体制造
赋能气体供应商，提供 NIST 溯源的严格出厂品质认证标准。
材料与生命
应用于高端前沿材料研发与生命科学领域，提供高精度的微观颗粒与痕量杂质分析。
底层核心传感引擎
自主研发双极驱动 构筑高端精密仪器技术壁垒
光学传感引擎 (Optical Sensing)
突破性的米氏散射与无源激光腔设计
01
0.1μm 极致检测灵敏度02
自适应基线补偿与降噪算法03
抗高压流体扰动电化学传感引擎 (Electrochemical)
纳米级微量杂质离子高敏识别
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痕量级 (ppb/ppt) 杂质精准识别02
智能交叉干扰滤除算法03
高稳定长效液态电解质技术ZHGC-101-01 在线高压气体粒子计数器
专为晶圆厂前道工艺设计的在线高压气体粒子计数器。采用自主研发的无源激光腔体技术，在40-150psig工作压力下实现0.1μm @ 0.1cfm极限检测灵敏度，兼容CDA、N2、Ar、He等全系半导体惰性气体。NIST溯源校准，打破国外技术垄断。
0.1μm
灵敏度 / Sensitivity
0.1 scfm
流量 / Flow Rate
8 Channels
通道数 / Channels
8英寸电容触摸屏
显示 / Display
便携式人体工学设计 / Portable Ergonomic Design
无源腔体设计 / Passive Cavity Design
兼容多种惰性气体 / Compatible with Inert Gases
工业物联网+AI分析 / IIoT + AI Analysis
深度合作与背书
联合国内顶尖计量与科研机构 共筑精密检测底座
湖北省计量测试技术研究院
HBIMT
华中科技大学
HUST
清华大学
Tsinghua University
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