PRODUCTS
产品矩阵
覆盖过程分析、环境监测、成分分析、智能传感四大类，提供硬件设备与应用平台全栈解决方案。
ZHGC-101-02 防爆型高压粒子计数器
专为晶圆厂先进制程中的反应性与腐蚀性特气（如 HCl, NH3, 硅烷等）在线监测设计。ZHGC-101-02采用独家防爆安全容器与专利无源激光腔技术，彻底隔离危险气体，杜绝传统传感器易腐蚀、易泄漏的致命缺陷。在苛刻环境下依然提供 0.1μm @ 0.1cfm 的极限检测灵敏度，实时阻断纳米级颗粒引发的晶圆报废，是高规格半导体厂务特气监测的终极解决方案。
ZHGC-101-01 在线高压气体粒子计数器
专为晶圆厂前道工艺设计的在线高压气体粒子计数器。采用自主研发的无源激光腔体技术，在40-150psig工作压力下实现0.1μm @ 0.1cfm极限检测灵敏度，兼容CDA、N2、Ar、He等全系半导体惰性气体。NIST溯源校准，打破国外技术垄断。
Competitive Analysis
技术对标：全面超越
在关键性能指标上比肩国际先进标准，成功打破部分领域国外技术垄断。
核心指标
进口主流品牌
卓砺精辰
01最小粒径 (Sensitivity)
0.1 μm
0.1 μm
02零计数 (Zero Count)
< 1个/5分钟
< 1个/5分钟
03核心部件
自产/外购
核心优势
自主研发04服务响应
48小时
核心优势
24小时响应05定制化能力
弱
核心优势
强 (软硬一体)* 数据来源：国家法定计量检定机构 (SIMT) 测试报告及第三方公开市场数据
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