防爆型高压粒子计数器 (Explosion-proof High Pressure Particle Counter) ZHGC-101-02

Pain Point: 新线或维保后供气系统管路长、节点多，传统抽检易遗漏，认证周期长且数据缺乏公信力。

Solution: 利用高压粒子计数器进行在线/便携式高频采样，提供实时、可溯源(NIST)的颗粒物数据，大幅缩短认证时间并一次性通过审核。

Pain Point: 集成电路制造中，工艺气体夹带的纳米级颗粒物会直接导致晶圆缺陷，造成灾难性良率损失。

Solution: 部署 0.1μm 级高灵敏度在线监测，建立预警阈值。一旦颗粒浓度异常波动，系统立即触发警报切断污染气源，死守良率红线。

Pain Point: 腐蚀性或反应性气体易侵蚀传感器，导致设备寿命短、安全风险极高且维护频繁。

Solution: 采用独特防爆安全容器设计与无源共振腔，设备不与反应气体直接发生破坏性接触，在最恶劣环境下实现"免维护"级的长效安全监测。